Reinraumtechnik

Reinraumtechnik,

 

Verfahren und Anlagen zur Herstellung besonders hoher äußerer Reinheit, die für spezielle Fertigungsverfahren (besonders in der Mikroelektronik bei der Chipfertigung), medizinischer Operationen oder andere gegenüber Verunreinigungen empfindlicher Tätigkeiten erforderlich ist. Das Prinzip der Reinraumtechnik wird in besonderen Verfahren und Anlagenarten der Klimatechnik angewendet, z. B. bei der turbulenzarmen Verdrängungsströmung (Laminarflow), bei der durch extrem gute Luftfilterung und großen Luftdurchsatz niedrige Luftkeimzahlen im Raum erreicht werden. Der Zugang zu Reinräumen (Reinsträumen, Clean Rooms) erfolgt über Personal- und Materialschleusen. Da der Mensch die Quelle für eine erhebliche Anzahl von Partikeln ist, wird in Reinräumen Arbeitskleidung getragen, die eine Person völlig umschließt. Die im Reinraum eingesetzten Materialien dürfen in der Form und bei ihrem Einbau nur ein Minimum an Störungen der laminaren Luftströmung verursachen und müssen über abriebfeste Oberflächen verfügen. Die Anforderungen an Reinräume sind in Reinraumklassen festgelegt. Die Klasse 100 z. B. bedeutet, dass in einem Kubikfuß (englisch cubic foot; 28,371 l) Luft maximal 100 Partikeln zulässig sind, pro Liter sind das 3,5 Partikeln von maximal 0,5 μm Durchmesser.